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文献
J-GLOBAL ID：200902209601117256
整理番号：04A0450195
集積回路での電気的欠陥の検査に対するレーザテラヘルツ蛍光顕微鏡における空間分解能の評価
Evaluation of spatial resolution in Laser-Terahertz Emission Microscope for inspecting electric faults in integrated circuits
YAMASHITA M
(RIKEN, Wako, JPN)
,
KIWA T
(Res. Center for Superconductor Photonics, Suita, JPN)
,
TONOUCHI M
(Res. Center for Superconductor Photonics, Suita, JPN)
,
KAWASE K
(RIKEN, Wako, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 5354 ページ： 104-111 発行年： 2004年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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