文献
J-GLOBAL ID:200902209604376740
整理番号:08A1132073
3次元シリコン集積
Three-dimensional silicon integration
著者 (16件):
KNICKERBOCKER J. U.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
,
ANDRY P. S.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
,
DANG B.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
,
HORTON R. R.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
,
INTERRANTE M. J.
(IBM Systems and Technol. Group, New York)
,
PATEL C. S.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
,
POLASTRE R. J.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
,
SAKUMA K.
(IBM Tokyo Res. Lab., Kanagawa-ken, JPN)
,
SIRDESHMUKH R.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
,
SPROGIS E. J.
(IBM Systems and Technol. Group, Vermont)
,
SRI-JAYANTHA S. M.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
,
STEPHENS A. M.
(IBM Res. Div., Texas)
,
TOPOL A. W.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
,
TSANG C. K.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
,
WEBB B. C.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
,
WRIGHT S. L.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
資料名:
IBM Journal of Research and Development
(IBM Journal of Research and Development)
巻:
52
号:
6
ページ:
553-569
発行年:
2008年11月
JST資料番号:
D0061B
ISSN:
0018-8646
CODEN:
IBMJAE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)