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文献
J-GLOBAL ID:200902209604376740   整理番号:08A1132073

3次元シリコン集積

Three-dimensional silicon integration
著者 (16件):
KNICKERBOCKER J. U.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
ANDRY P. S.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
DANG B.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
HORTON R. R.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
INTERRANTE M. J.
(IBM Systems and Technol. Group, New York)
PATEL C. S.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
POLASTRE R. J.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
SAKUMA K.
(IBM Tokyo Res. Lab., Kanagawa-ken, JPN)
SIRDESHMUKH R.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
SPROGIS E. J.
(IBM Systems and Technol. Group, Vermont)
SRI-JAYANTHA S. M.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
STEPHENS A. M.
(IBM Res. Div., Texas)
TOPOL A. W.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
TSANG C. K.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
WEBB B. C.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)
WRIGHT S. L.
(Thomas J. Watson Res. Center, New York)

資料名:
IBM Journal of Research and Development  (IBM Journal of Research and Development)

巻: 52  号:ページ: 553-569  発行年: 2008年11月 
JST資料番号: D0061B  ISSN: 0018-8646  CODEN: IBMJAE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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