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文献
J-GLOBAL ID:200902209728350251   整理番号:04A0212193

Si(111)基板上のオンチップMOSFET付きマイクロSiプローブ電極アレイの選択的気相-液相-固相エピタキシャル成長

Selective Vapor-Liquid-Solid Epitaxial Growth of Micro-Si Probe Electrode Arrays With On-Chip MOSFETs on Si(111) Substrates
著者 (6件):
KAWANO T
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
KATO Y
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
TANI R
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
TAKAO H
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
SAWADA K
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
ISHIDA M
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)

資料名:
IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Transactions on Electron Devices)

巻: 51  号:ページ: 415-420  発行年: 2004年03月 
JST資料番号: C0222A  ISSN: 0018-9383  CODEN: IETDAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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