文献
J-GLOBAL ID:200902209728350251
整理番号:04A0212193
Si(111)基板上のオンチップMOSFET付きマイクロSiプローブ電極アレイの選択的気相-液相-固相エピタキシャル成長
Selective Vapor-Liquid-Solid Epitaxial Growth of Micro-Si Probe Electrode Arrays With On-Chip MOSFETs on Si(111) Substrates
著者 (6件):
KAWANO T
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
KATO Y
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
TANI R
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
TAKAO H
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
SAWADA K
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
ISHIDA M
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
資料名:
IEEE Transactions on Electron Devices
(IEEE Transactions on Electron Devices)
巻:
51
号:
3
ページ:
415-420
発行年:
2004年03月
JST資料番号:
C0222A
ISSN:
0018-9383
CODEN:
IETDAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)