文献
J-GLOBAL ID:200902209769830942
整理番号:08A0340934
ナノインプリント 現代における古い話?概観
Nanoimprint lithography: An old story in modern times? A review
著者 (1件):
SCHIFT Helmut
(Lab. for Micro- and Nanotechnology, Paul Scherrer Inst., 5232 Villigen PSI, CHE)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
26
号:
2
ページ:
458
発行年:
2008年03月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)