文献
J-GLOBAL ID:200902209789446928
整理番号:04A0150196
スパッタCrNy及びCr1-xSixN1.02薄膜の電気,光学及び機械特性
Electrical, optical and mechanical properties of sputtered CrNy and Cr1-xSixN1.02 thin films
著者 (4件):
MARTINEZ E
(EPFL, Lausanne, CHE)
,
SANJINES R
(EPFL, Lausanne, CHE)
,
BANAKH O
(Ecole d’ingenieurs de l’arc jurassien, Le Locle, CHE)
,
LEVY F
(EPFL, Lausanne, CHE)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
447/448
ページ:
332-336
発行年:
2004年01月30日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)