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文献
J-GLOBAL ID：200902209933478619
整理番号：06A0371327
フォトレジストの処理に使用する熱電気素子と電灯を基本にした統合型の加熱/冷却システム
A thermoelectricity-lamp based integrated bake/chill system for photoresist processing
TAY Arthur
(National Univ., Singapore)
,
CHUA Hui-Tong
(Univ. Western Australia, WA, AUS)
,
HO Wee-Sin
(National Univ., Singapore)
,
ZHOU Ying
(Inst. Chemical and Engineering Sci., Singapore)
資料名：
Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society
(Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society)
巻： 31st Vol.1 ページ： 153-158 発行年： 2005年
JST資料番号： H0475B ISSN： 1553-572X 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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