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文献
J-GLOBAL ID：200902210631547822
整理番号：05A0808039
ピロールモノマからRF PE-CVDで製作したDLC薄膜の性質
Properties of DLC thin films produced by RF PE-CVD from pyrrole monomer
TAKAI O.
(EcoTopia Sci. Inst., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa, Nagoya 464-8603, JPN)
,
ANITA V.
(EcoTopia Sci. Inst., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa, Nagoya 464-8603, JPN)
,
ANITA V.
(“AL.I.Cuza” Univ., Dep. of Plasma Physics, Iasi-6600, ROM)
,
SAITO N.
(Dep. of Molecular Design and Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa, Nagoya ...)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 200 号： 1-4 ページ： 1106-1109 発行年： 2005年10月01日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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