文献
J-GLOBAL ID:200902210653238742
整理番号:06A0140196
3D自由空間熱起動型マイクロミラー装置
3D free space thermally actuated micromirror device
著者 (5件):
SINGH Janak
(A STAR Inst. Microelectronics, Singapore, SGP)
,
GAN Terence
(A STAR Inst. Microelectronics, Singapore, SGP)
,
AGARWAL Ajay
(A STAR Inst. Microelectronics, Singapore, SGP)
,
MOHANRAJ
(A STAR Inst. Microelectronics, Singapore, SGP)
,
LIW Saxon
(A STAR Inst. Microelectronics, Singapore, SGP)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
123-124
ページ:
468-475
発行年:
2005年09月23日
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)