文献
J-GLOBAL ID:200902211673650930
整理番号:03A0136881
ファブ/ベンダープロセスおよび計測共同開発を通しての欠陥の系統的低減
Reducing defects methodically through fab/vendor process and metrology collaboration.
著者 (9件):
SCHREUTELKAMP R
(Applied Materials Europe)
,
VAN DER REIJDEN M
(Applied Materials Europe)
,
KING T
(Applied Materials Europe)
,
MAST K
(Applied Materials Europe)
,
ZONDAG J
(Applied Materials Europe)
,
SAHR H
(Philips Semiconductors)
,
CAVELAARS J
(Philips Semiconductors)
,
SWAANEN M
(Philips Semiconductors)
,
SHI L
(Philips Semiconductors)
資料名:
MICRO
(MICRO)
巻:
21
号:
1
ページ:
41-48
発行年:
2003年01月
JST資料番号:
D0679B
ISSN:
1081-0595
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)