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文献
J-GLOBAL ID：200902211703878787
整理番号：06A0881306
パルスレーザ堆積法により低温基板に作製した酸化亜鉛系透明導電膜
Transparent Conducting ZnO Thin Films Prepared at Room Temperature by PLD Method
安倉秀明
(大阪産大 工)
,
高瀬康則
(大阪産大 工)
,
上原賢二
(大阪産大 工)
,
中村篤宏
(大阪産大 工)
,
東村佳則
(大阪産大 工)
,
青木孝憲
(大阪産大 工)
,
鈴木晶雄
(大阪産大 工)
,
松下辰彦
(大阪産大 工)
,
奥田昌宏
(奥田技術事務所)
,
沖中広和
(日立ハイテクノロジーズ)
資料名：
電気学会論文誌 C
(IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems)
巻： 126 号： 11 ページ： 1268-1275 発行年： 2006年11月01日
JST資料番号： S0810A ISSN： 0385-4221 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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