文献
J-GLOBAL ID:200902212501013136
整理番号:04A0083905
水素化炭素膜のナノ硬度及びYoung率に対する膜部分の窒素含有量と膜厚の影響
Effect of nitrogen content at coating film and film thickness on nanohardness and Young’s modulus of hydrogenated carbon films
著者 (4件):
LIN J F
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
WEI P J
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
PAN J C
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
AI C-F
(Inst. Nuclear Energy Res., Lung Tan, TWN)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
13
号:
1
ページ:
42-53
発行年:
2004年01月
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)