文献
J-GLOBAL ID:200902212602464660
整理番号:04A0413509
金属ゲート電極を利用したガラス上の自己整合ダブルゲートCLC poly-Si TFT
Self-Aligned Metal Double Gate CLC Poly-Si TFT on Non-Alkali Glass Substrate
著者 (5件):
原明人
(富士通研)
,
竹井美智子
(富士通研)
,
吉野健一
(富士通研)
,
竹内文代
(富士通研)
,
佐々木伸夫
(富士通研)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
104
号:
5(SDM2004 7-14)
ページ:
1-6
発行年:
2004年04月16日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)