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文献
J-GLOBAL ID：200902212801874001
整理番号：07A1078212
高密度プラズマチャンバ内での継続したスパークの実時間監視
Real-time monitoring of successive sparks in high-density plasma chambers
SATO Michio
(Inst. of Fluid Sci., Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan and Harada Corp., 2-10-14 ...)
,
OHTAKE Hiroto
(Inst. of Fluid Sci., Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN)
,
SUZUKI Koichi
(Harada Corp., 2-10-14 Minami-Senba, Chyuo-ku, Osaka, 542-0081, JPN)
,
SAMUKAWA Seiji
(Inst. of Fluid Sci., Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 25 号： 6 ページ： 1594 発行年： 2007年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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