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文献
J-GLOBAL ID：200902213363053926
整理番号：03A0204857
欠陥管理信頼性の理論的推定
Theoretical Estimation of Defect Management Reliability.
TANAKA K
(Teikyo Heisei Univ., Chiba, JPN)
,
NEMOTO T
(Teikyo Heisei Univ., Chiba, JPN)
,
JINWAKI M
(Teikyo Heisei Univ., Chiba, JPN)
,
FURUKAWA T
(Hiroshima Inst. Technol., Hiroshima, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 42 号： 2B ページ： 968-970 発行年： 2003年02月28日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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