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文献
J-GLOBAL ID：200902213433600776
整理番号：07A0834160
有機金属化学蒸着によるEtCp2MgとMeCp2Mgを用いた多結晶Zn1-XMgXO薄膜の成長
Growth of Polycrystalline Zn1-XMgXO Thin Films Using EtCp2Mg and MeCp2Mg by Metal Organic Chemical Vapor Deposition
CHIBA Yoshiyuki
(Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN)
,
MENG Fanying
(Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN)
,
YAMADA Akira
(Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN)
,
KONAGAI Makoto
(Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 46 号： 8A ページ： 5040-5043 発行年： 2007年08月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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