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文献
J-GLOBAL ID：200902213701499579
整理番号：05A0568746
ニ次元特徴を用いた三次元マスク効果の近似法
Approximation of Three Dimensional Mask Effects with Two Dimensional Features
BAI Min
(Synopsys Inc., OR)
,
MELVIN Lawrence S. III
(Synopsys Inc., OR)
,
YAN Qiliang
(Synopsys Inc., OR)
,
SHIELY James P.
(Synopsys Inc., OR)
,
FALCH Bradley J.
(Synopsys Inc., OR)
,
FU Chong-Cheng
(Freescale Semiconductor Inc., TX)
,
WANG Ruoping
(Freescale Semiconductor Inc., TX)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 5751 号： Pt.1 ページ： 446-454 発行年： 2005年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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