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文献
J-GLOBAL ID：200902213742293276
整理番号：06A0053463
レーザ・パターニングおよび等方性エッチングを用いた凹面マイクロレンズアレイの製作
Fabrication of concave micro lens array using laser patterning and isotropic etching
LIM C.s.
(Mechanical Engineering Dep., National Univ. of Singapore, Singapore 117608, SGP)
,
HONG M.h.
(Electrical and Computer Engineering Dep., National Univ. of Singapore, Singapore 117608, SGP)
,
KUMAR A. Senthil
(Mechanical Engineering Dep., National Univ. of Singapore, Singapore 117608, SGP)
,
RAHMAN M.
(Mechanical Engineering Dep., National Univ. of Singapore, Singapore 117608, SGP)
,
LIU X.d.
(Singapore Inst. of Manufacturing Technol., 71 Nanyang Drive, Singapore 638075, SGP)
資料名：
International Journal of Machine Tools & Manufacture
(International Journal of Machine Tools & Manufacture)
巻： 46 号： 5 ページ： 552-558 発行年： 2006年04月
JST資料番号： C0568A ISSN： 0890-6955 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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