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文献
J-GLOBAL ID：200902213793828891
整理番号：06A0131678
300mm半導体製造における自動化マテリアルハンドリングシステムの調査
A survey of automated material handling systems in 300-mm semiconductor fabs
AGRAWAL Gaurav K
(Rensselar Polytechnic Inst., NY, USA)
,
HERAGU Sunderesh S
(Univ. Louisville, KY, USA)
資料名：
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 19 号： 1 ページ： 112-120 発行年： 2006年02月
JST資料番号： T0521A ISSN： 0894-6507 CODEN： ITSMED 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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