文献
J-GLOBAL ID:200902213994395179
整理番号:08A0465195
Cr-Al-N被覆の微細構造に及ぼす基板バイアス電圧の効果
Effects of substrate bias voltage on the microstructure of Cr-Al-N coatings
著者 (6件):
ZHU Ming
(Xi’an Univ. Sci. & Technol., Xi’an, CHN)
,
ZHU Ming
(Inst. Metal Res., Chinese Acad. Sci., Shenyang, CHN)
,
DUO Shuwang
(Jiangxi Sci. and Technol. Normal Univ., Jiangxi, CHN)
,
LI Tianpeng
(Inst. Metal Res., Chinese Acad. Sci., Shenyang, CHN)
,
LI Meishuan
(Inst. Metal Res., Chinese Acad. Sci., Shenyang, CHN)
,
ZHOU Yanchun
(Inst. Metal Res., Chinese Acad. Sci., Shenyang, CHN)
資料名:
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻:
373/374
ページ:
167-171
発行年:
2008年
JST資料番号:
D0744C
ISSN:
1013-9826
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)