文献
J-GLOBAL ID:200902214503978980
整理番号:04A0214187
フェムト秒およびナノ秒レーザ構造シリコンに関する構造および特性の比較
Comparison of structure and properties of femtosecond and nanosecond laser-structured silicon
著者 (6件):
CROUCH C H
(Harvard Univ., Massachusetts)
,
CAREY J E
(Harvard Univ., Massachusetts)
,
WARRENDER J M
(Harvard Univ., Massachusetts)
,
AZIZ M J
(Harvard Univ., Massachusetts)
,
MAZUR E
(Harvard Univ., Massachusetts)
,
GENIN F Y
(Lawrence Livermore National Lab., California)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
84
号:
11
ページ:
1850-1852
発行年:
2004年03月15日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)