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文献
J-GLOBAL ID：200902214654325326
整理番号：05A0568727
Philips社のアルファツールの統合型極端紫外光源
Integrating Philips’ extreme UV source in the alpha-tools
PANKERT Joseph
(Philips Extreme UV GmbH, Aachen, DEU)
,
APETZ Rolf
(Philips Extreme UV GmbH, Aachen, DEU)
,
BERGMANN Klaus
(Fraunhofer Inst. Lasertechnik, Aachen, DEU)
,
DERRA Guenther
(Philips Res. Lab., Aachen, DEU)
,
JANSSEN Maurice
(Philips Extreme UV GmbH, Aachen, DEU)
,
KLEIN Juergen
(Fraunhofer Inst. Lasertechnik, Aachen, DEU)
,
KRUECKEN Thomas
(Philips Res. Lab., Aachen, DEU)
,
METZMACHER Christof
(Philips Res. Lab., Aachen, DEU)
,
NEFF Willi
(Fraunhofer Inst. Lasertechnik, Aachen, DEU)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 5751 号： Pt.1 ページ： 260-271 発行年： 2005年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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