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文献
J-GLOBAL ID：200902215455303387
整理番号：05A0341616
急速熱処理の非線形システム同定
Nonlinear system identification of rapid thermal processing
TIAN Caizhong
(Tokyo Electron LTD., Tokyo, JPN)
,
FUJII Takao
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Control Engineering Practice
(Control Engineering Practice)
巻： 13 号： 6 ページ： 681-687 発行年： 2005年06月
JST資料番号： W0647A ISSN： 0967-0661 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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