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J-GLOBAL ID：200902215967368057 整理番号：07A0167935

微力三次元触覚プローブを用いた超精密微小CMM

Ultraprecision micro-CMM using a low force 3D touch probe

著者 (3件)：

KUENG A

(Swiss Federal Office of Metrology (METAS), Bern-Wabern, CHE)

MELI F

(Swiss Federal Office of Metrology (METAS), Bern-Wabern, CHE)

THALMANN R

(Swiss Federal Office of Metrology (METAS), Bern-Wabern, CHE)

資料名：

Measurement Science and Technology (Measurement Science and Technology)

巻： 18 号： 2 ページ： 319-327 発行年： 2007年02月
JST資料番号： C0354C ISSN： 0957-0233 CODEN： MSTCEP 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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