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文献
J-GLOBAL ID：200902215977106425
整理番号：04A0641771
高密度プラズマ蒸発により作製した酸化インジウムモリブデン膜の電気的及び光学的特性に及ぼす酸素含有量の効果
Effects of oxygen contents on the electrical and optical properties of indium molybdenum oxide films fabricated by high density plasma evaporation
SUN S-Y
(National Cheng-Kung Univ., Tainan, TWN)
,
HUANG J-L
(National Cheng-Kung Univ., Tainan, TWN)
,
LII D-F
(Cheng Shiu Univ., Kaohsiung County, TWN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 22 号： 4 ページ： 1235-1241 発行年： 2004年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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