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文献
J-GLOBAL ID:200902216774855925   整理番号:09A1281038

三重の3倍の乱視分野での高度の幾何学的収差の補正

Correction of highe order geometrical aberration by triple 3-fold astigmatism field
著者 (16件):
SAWADA Hidetaka
(JST-CREST, Tokyo)
SAWADA Hidetaka
(JEOL Ltd, Tokyo)
SASAKI Takeo
(JST-CREST, Tokyo)
SASAKI Takeo
(JEOL Ltd, Tokyo)
HOSOKAWA Fumio
(JEOL Ltd, Tokyo)
YUASA Shuuichi
(JEOL Ltd, Tokyo)
TERAO Mitsuhisa
(JEOL Ltd, Tokyo)
KAWAZOE Muneyuki
(JEOL Ltd, Tokyo)
NAKAMICHI Tomohiro
(JEOL Ltd, Tokyo)
KANEYAMA Toshikatsu
(JST-CREST, Tokyo)
KANEYAMA Toshikatsu
(JEOL Ltd, Tokyo)
KONDO Yukihito
(JEOL Ltd, Tokyo)
KIMOTO Koji
(JST-CREST, Tokyo)
KIMOTO Koji
(National Inst. Materials Sci., Ibaraki)
SUENAGA Kazutomo
(JST-CREST, Tokyo)
SUENAGA Kazutomo
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Tsukuba, JPN)

資料名:
Journal of Electron Microscopy  (Journal of Electron Microscopy)

巻: 58  号:ページ: 341-347  発行年: 2009年12月 
JST資料番号: W1384A  ISSN: 0022-0744  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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