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J-GLOBAL ID：200902216869397088 整理番号：05A0722087

プラズマイオン注入・成膜(PBIID)法によって作製したDLC膜の残留応力測定

著者 (5件)：

三木靖浩

(奈良県工技セ)

足立茂寛

(奈良県工技セ)

西村芳実

(栗田製作所)

杉原雅彦

(栗田製作所)

堀野裕治

(産業技術総合研ダイヤモンド研究セ)

資料名：

奈良県工業技術センター研究報告 (Report of Nara Prefectural Institute of Industrial Technology)

号： 31 ページ： 10-15 発行年： 2005年
JST資料番号： G0952A ISSN： 1346-0749 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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