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文献
J-GLOBAL ID：200902217175061348
整理番号：03A0062996
大重量主軸台の原子レベル超磁歪位置決め/アライメントシステムの開発 φ300mmSiウエハ超加工機械の中核技術
Development of Atomic Level GMM Positioning/Alignment System for Driving a Gigantic Weight Spindle. Core Technology for Advanced φ300mm Si Wafer Ultraprecision Machine Tool.
江田弘
(茨城大 工)
,
ZHOU L
(茨城大 工)
,
近藤良
(茨城大 工)
,
中野博民
(茨城大 工)
,
森輝夫
(TDK)
,
清水淳
(茨城大 工)
資料名：
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 69 号： 1 ページ： 100-104 発行年： 2003年01月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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