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文献
J-GLOBAL ID：200902217319109529
整理番号：05A0713122
陽極多孔性アルミナによるけい素の電気化学エッチング
Electrochemical etching of silicon through anodic porous alumina
ASOH Hidetaka
(Dep. of Applied Chemistry, Kogakuin Univ., 1-24-2 Nishi-shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 163-8677, JPN)
,
SASAKI Kunimitsu
(Dep. of Applied Chemistry, Kogakuin Univ., 1-24-2 Nishi-shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 163-8677, JPN)
,
ONO Sachiko
(Dep. of Applied Chemistry, Kogakuin Univ., 1-24-2 Nishi-shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 163-8677, JPN)
資料名：
Electrochemistry Communications
(Electrochemistry Communications)
巻： 7 号： 9 ページ： 953-956 発行年： 2005年09月
JST資料番号： W1133A ISSN： 1388-2481 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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