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文献
J-GLOBAL ID：200902218041001531
整理番号：09A0383766
パターン化媒体作製用のステップアンドフラッシュインプリントリソグラフィー
Step and flash imprint lithography for manufacturing patterned media
SCHMID Gerard M.
(Molecular Imprints, Inc., 1807-C West Braker Lane, Austin, Texas 78758)
,
MILLER Mike
(Molecular Imprints, Inc., 1807-C West Braker Lane, Austin, Texas 78758)
,
BROOKS Cynthia
(Molecular Imprints, Inc., 1807-C West Braker Lane, Austin, Texas 78758)
,
KHUSNATDINOV Niyaz
(Molecular Imprints, Inc., 1807-C West Braker Lane, Austin, Texas 78758)
,
LABRAKE Dwayne
(Molecular Imprints, Inc., 1807-C West Braker Lane, Austin, Texas 78758)
,
RESNICK Douglas J.
(Molecular Imprints, Inc., 1807-C West Braker Lane, Austin, Texas 78758)
,
SREENIVASAN S. V.
(Molecular Imprints, Inc., 1807-C West Braker Lane, Austin, Texas 78758)
,
GAUZNER Gene
(Seagate Technol., 47010 Kato Road, Fremont, California 94538)
,
LEE Kim
(Seagate Technol., 47010 Kato Road, Fremont, California 94538)
,
KUO David
(Seagate Technol., 47010 Kato Road, Fremont, California 94538)
,
WELLER Dieter
(Seagate Technol., 47010 Kato Road, Fremont, California 94538)
,
YANG Xiaomin
(Seagate Res., 1251 Waterfront Place, Pittsburgh, Pennsylvania 15222)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 27 号： 2 ページ： 573 発行年： 2009年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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