文献
J-GLOBAL ID:200902218205280500
整理番号:06A0742178
スパッタリングによるB-C-N膜の蒸着とその機械的特性
Deposition of B-C-N films by Sputtering and their Mechanical Properties
著者 (5件):
KIM Jongduk
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya)
,
NAKAO Setsuo
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya)
,
CHOI Junho
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya)
,
IKEYAMA Masami
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya)
,
MIYAKE Shojiro
(Nippon Inst. of Technol., Saitama)
資料名:
Transactions of the Materials Research Society of Japan
(Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻:
31
号:
3
ページ:
693-696
発行年:
2006年09月
JST資料番号:
L4468A
ISSN:
1382-3469
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)