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文献
J-GLOBAL ID：200902218293174862
整理番号：06A0510039
バイポーラ型プラズマ基のイオン注入により作製したDLC膜の微細組織に及ぼす正および負のパルス電圧の影響
Effects of positively and negatively pulsed voltages on the microstructure of DLC films prepared by bipolar-type plasma based ion implantation
NAKAO Setsuo
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., 2266-98 ...)
,
CHOI Junho
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., 2266-98 ...)
,
KIM Jondoku
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., 2266-98 ...)
,
MIYAGAWA Soji
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., 2266-98 ...)
,
MIYAGAWA Yoshiko
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., 2266-98 ...)
,
IKEYAMA Masami
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., 2266-98 ...)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 15 号： 4-8 ページ： 884-887 発行年： 2006年04月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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