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文献
J-GLOBAL ID：200902218975749611
整理番号：04A0303685
位相シフトSEMモアレ法
Phase shifting SEM moire method
XIE H
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
SHANG H
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
DAI F
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
LI B
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
XING Y
(Inner Mongolia Poly Technique Univ., Huhhot, CHN)
資料名：
Optics & Laser Technology
(Optics & Laser Technology)
巻： 36 号： 4 ページ： 291-297 発行年： 2004年06月
JST資料番号： D0245B ISSN： 0030-3992 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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