文献
J-GLOBAL ID:200902219048265220
整理番号:05A0069451
1.156GHz自己整合振動型微小機械円板共振器
1.156-GHz Self-Aligned Vibrating Micromechanical Disk Resonator
著者 (3件):
WANG J
(Univ. Michigan, MI)
,
REN Z
(Univ. Michigan, MI)
,
NGUYEN C T-C
(Univ. Michigan, MI)
資料名:
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
(IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻:
51
号:
12
ページ:
1607-1628
発行年:
2004年12月
JST資料番号:
H0369A
ISSN:
0885-3010
CODEN:
ITUCER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)