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文献
J-GLOBAL ID：200902219101795784
整理番号：09A0136234
低周波プラズマにおける窓材料の誘電率によるモード転移促進
Mode Transition Enhancement by Permittivity of Window Materials in Low Frequency Plasmas
JINBO Yousuke
(ULVAC Inc., Kanagawa, JPN)
,
KITAMURA Yuichi
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
,
KUSABA Kouta
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
,
KIKUCHI Masashi
(ULVAC Inc., Kanagawa, JPN)
,
SHINDO Haruo
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
資料名：
Applied Physics Express
(Applied Physics Express)
巻： 2 号： 1 ページ： 016001.1-016001.3 発行年： 2009年01月25日
JST資料番号： F0599C ISSN： 1882-0778 CODEN： APEPC4 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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