文献
J-GLOBAL ID:200902219154697652
整理番号:03A0330519
球面収差を補正した高分解能透過電子顕微鏡によるSiO2/Si(100)界面の高速観測
First observation of SiO2/Si(100) interfaces by spherical aberration-corrected high-resolution transmission electron microscopy
著者 (4件):
TANAKA N
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
YAMASAKI J
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
USUDA K
(Toshiba Co., Kawasaki, JPN)
,
IKARASHI N
(NEC Co., Sagamihara, JPN)
資料名:
Journal of Electron Microscopy
(Journal of Electron Microscopy)
巻:
52
号:
1
ページ:
69-73
発行年:
2003年
JST資料番号:
W1384A
ISSN:
0022-0744
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)