文献
J-GLOBAL ID:200902219180539208
整理番号:09A1136145
ダイヤフラム構造の変化で生じた圧電超音波マイクロセンサの感度変化
Sensitivity Change in Piezoelectric Ultrasonic Microsensors Caused by a Variation of Diaphragm Structures
著者 (4件):
YAMASHITA Kaoru
,
NODA Minoru
,
YOSHIZAKI Tomoya
(Osaka Univ., Toyonaka, JPN)
,
OKUYAMA Masanori
(Osaka Univ., Toyonaka, JPN)
資料名:
Journal of the Korean Physical Society
(Journal of the Korean Physical Society)
巻:
55
号:
2,Pt.1
ページ:
902-907
発行年:
2009年08月14日
JST資料番号:
T0357A
ISSN:
0374-4884
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
韓国 (KOR)
言語:
英語 (EN)