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文献
J-GLOBAL ID：200902219185290712
整理番号：07A0138924
有機-無機ハイブリッドガラスの直接ナノインプリント
Direct nanoimprint of inorganic-organic hybrid glass
OKINAKA Motoki
(RIKEN, Hirosawa 2-1, Wako, Saitama 351-0198, JPN)
,
TSUKAGOSHI Kazuhito
(RIKEN, Hirosawa 2-1, Wako, Saitama 351-0198, JPN)
,
AOYAGI Yoshinobu
(Dep. of Information Processing, Tokyo Inst. of Technol., Nagatsuda 4259, Midori, Yokohama, Kanagawa 226-8502, Japan ...)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 24 号： 3 ページ： 1402-1404 発行年： 2006年05月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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