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文献
J-GLOBAL ID:200902219298964418   整理番号:05A0043734

プラズマイオン注入・成膜(PBIID)法によって作製したDLC膜の残留応力測定

Residual Stress Measurement in DLC films prepared by Plasma-based Ion Implantation and Deposition (PBIID) Method
著者 (5件):
三木靖浩
(奈良県工技セ)
足立茂寛
(奈良県工技セ)
西村芳美
(栗田製作所)
杉原雅彦
(栗田製作所)
堀野裕治
(産業技術総合研)

資料名:
X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集  (Proceedings of the Symposium on X-Ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials)

巻: 39th  ページ: 190-195  発行年: 2004年 
JST資料番号: F0605B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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