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J-GLOBAL ID：200902219545550176 整理番号：07A0230105

新概念超平滑研削法によるナノメータレベル平坦面生成技術の検討(第1報)-平坦度に及ぼす研削方向平行間欠送り量の影響-

Formation Technique of Nanometer Level Flatness in Ultra-Smoothness Grinding Method Based on New Concept (1st Report)-Influence of Parallel Step Feed to Grinding Direction on Surface Flatness-

著者 (3件)：

安井平司

(熊本大大学院)

山本雄記

(熊本大大学院)

坂本竜司郎

(熊本大大学院)

資料名：

精密工学会誌(CD-ROM) (精密工学会誌論文集)

巻： 73 号： 3 ページ： 345-349 発行年： 2007年03月05日
JST資料番号： F0268B ISSN： 1348-8716 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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