文献
J-GLOBAL ID:200902219688998720
整理番号:04A0196519
集束イオンビーム化学蒸着によるガラスキャピラリ上へのナノマニプレータ及びアクチュエータ作製
Nanomanipulator and actuator fabrication on glass capillary by focused-ion-beam-chemical vapor deposition
著者 (9件):
KOMETANI R
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
MORITA T
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
WATANABE K
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
HOSHINO T
(JST-CREST, Saitama, JPN)
,
KONDO K
(JST-CREST, Saitama, JPN)
,
KANDA K
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
KAITO T
(Seiko Instruments Inc., Shizuoka, JPN)
,
FUJITA J
(JST-CREST, Saitama, JPN)
,
ISHIDA M
(JST-CREST, Saitama, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
22
号:
1
ページ:
257-263
発行年:
2004年01月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)