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文献
J-GLOBAL ID：200902219740558327
整理番号：04A0415580
ナノ秒パルス・ベッセルビームを用いたレーザーマイクロドリル
Laser Micro Drilling Using a Nanosecond-Pulse Bessel Beam
松岡芳彦
(産業技術総合研 マイクロ・ナノ機能広域発現研セ)
,
河野正道
(産業技術総合研 マイクロ・ナノ機能広域発現研セ)
資料名：
レーザー研究
(レーザー学会誌)
巻： 32 号： 5 ページ： 348-351,370 発行年： 2004年05月15日
JST資料番号： X0335A ISSN： 0387-0200 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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