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文献
J-GLOBAL ID：200902219952017865
整理番号：08A0090409
アンバランスマグネトロンスパッタリングにより作製した赤外線反射防止膜のための大面積水素フリーダイヤモンド状炭素膜
Large-area uniform hydrogen-free diamond-like carbon films prepared by unbalanced magnetron sputtering for infrared anti-reflection coatings
XU Junqi
(State Key Lab. of Solidification Processing, School of Materials Sci. and Engineering, Northwestern Polytechnical ...)
,
FAN Huiqing
(State Key Lab. of Solidification Processing, School of Materials Sci. and Engineering, Northwestern Polytechnical ...)
,
LIU Weiguo
(School of Opto-electronic Engineering, Xi’an Technological Univ., Xi’an 710032, CHN)
,
HANG Lingxia
(School of Opto-electronic Engineering, Xi’an Technological Univ., Xi’an 710032, CHN)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 17 号： 2 ページ： 194-198 発行年： 2008年02月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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