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文献
J-GLOBAL ID：200902220161399193
整理番号：06A1038937
チタン酸ジルコン酸鉛薄膜変換のマイクロカンチレバにおけるエネルギー散逸機構
Energy Dissipation Mechanisms in Lead Zirconate Titanate Thin Film Transduced Micro Cantilevers
LU Jian
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
IKEHARA Tsuyoshi
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
ZHANG Yi
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
MAEDA Ryutaro
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
MIHARA Takashi
(Olympus Corp., Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 45 号： 11 ページ： 8795-8800 発行年： 2006年11月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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