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J-GLOBAL ID：200902220201734454 整理番号：05A1019115

異方性エッチングによるシリコンマイクロ多刃工具の開発(第1報)-工具の作製設計システムの構築-

Development of Silicon Micro Multi-edged Tool Using Anisotropic Etching (1st Report)-Construction of Design System for Fabricating the Silicon Micro Multi-edged Tool-

著者 (5件)：

山口智実

(関西大工)

樋口誠宏

(関西大工)

島田尚一

(大阪電通大工)

加藤慎也

(関西大大学院)

浅井邦彦

(関西大大学院)

資料名：

精密工学会誌 (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)

巻： 70 号： 9 ページ： 1196-1200 発行年： 2004年09月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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