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J-GLOBAL ID：200902220924340373 整理番号：05A0426924

25-35nm領域のMg系反射多層膜の経年変化および温度変位の評価

著者 (8件)：

江島丈雄

(東北大多元物質科研)

伴瀬貴徳

(東北大多元物質科研)

山崎敦志

(東北大多元物質科研)

菅原真幸

(東北大多元物質科研)

近藤祐治

(秋田高技研)

斉藤勝彦

(佐賀大)

市丸智

(NTT-AT)

竹中久貴

(NTT-AT)

資料名：

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)

巻： 52nd 号： 2 ページ： 798 発行年： 2005年03月29日
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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