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文献
J-GLOBAL ID：200902220929715545
整理番号：04A0002936
プラズマイオン注入によるTiおよびW-含有ダイヤモンド状カーボン膜の作製と特性評価
Deposition and characterization of Ti- and W-containing diamond-like carbon films by plasma source ion implantation
BABA K
(Industrial Technol. Center of Nagasaki, Nagasaki, JPN)
,
HATADA R
(Industrial Technol. Center of Nagasaki, Nagasaki, JPN)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 169/170 ページ： 287-290 発行年： 2003年06月02日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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