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文献
J-GLOBAL ID：200902221113891155
整理番号：05A0564428
静電マイクロモータとその信頼性
Electrostatic micromotor and its reliability
ZHANG Wenming
(State Key Lab. of Vibration, Shock and Noise, Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
,
MENG Guang
(State Key Lab. of Vibration, Shock and Noise, Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
,
LI Hongguang
(State Key Lab. of Vibration, Shock and Noise, Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
資料名：
Microelectronics Reliability
(Microelectronics Reliability)
巻： 45 号： 7-8 ページ： 1230-1242 発行年： 2005年07月
JST資料番号： C0530A ISSN： 0026-2714 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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