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文献
J-GLOBAL ID：200902221372206690
整理番号：05A0996498
PZTアクチュエータで駆動する光マイクロスキャナの作成
Fabrication of Optical Micro Scanner Driven by PZT Actuators
KOBAYASHI Takeshi
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
TSAUR Jiunnjye
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
MAEDA Ryutaro
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44 号： 9B ページ： 7078-7082 発行年： 2005年09月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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