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文献
J-GLOBAL ID：200902221577494353
整理番号：05A0655321
MEMSからナノマシンへ
From MEMS to nanomachine
ESASHI Masayoshi
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ONO Takahito
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 38 号： 13 ページ： R223-R230 発行年： 2005年07月07日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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