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文献
J-GLOBAL ID：200902221711501663
整理番号：05A0590206
裸およびDLC被覆けい素基MEMSにおけるふっ素化潤滑剤の経時変化
Aging of a fluorinated lubricant on bare and DLC-coated silicon-based MEMS
EAPEN Kalathil C.
(Univ. of Dayton Res. Inst., Dayton, OH 45469-0168, USA)
,
PATTON Steven T.
(Univ. of Dayton Res. Inst., Dayton, OH 45469-0168, USA)
,
SMALLWOOD Steven A.
(Universal Technol. Corp., 1270 N. Fairfield Rd., Dayton, OH 45432-2600, USA)
,
NAINAPARAMPIL Josekutty J.
(Universal Technol. Corp., 1270 N. Fairfield Rd., Dayton, OH 45432-2600, USA)
,
ZABINSKI Jeffrey S.
(Materials and Manufacturing Directorate, Air Force Res. Lab., Wright-Patterson AFB, OH 45433-7750, USA)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 197 号： 2-3 ページ： 270-277 発行年： 2005年07月22日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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